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微反射鏡非光罩光刻方法引起美國防機構研發興趣


由Semiconductor Research(SRC)公司及美國國防先進研究計畫局組織(Defense Advanced Research Projects Agency)的Low Volume Patterning Workshop預計將討論採用微反射鏡陣列(arrays of micromirrors)的非光罩光刻(maskless lithography)方法所存在的技術挑戰,以及將政府及獨立研究成果相結合的展示計畫之可行性

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