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TEL的FPD電漿蝕刻灰燼系統可用於第七代基板製造

Tokyo Electron(TEL)公司將在今年夏天推出新的FPD電漿蝕刻/灰燼系統(Plasma Etch/Ash System)，該款名為Impressio的系統可處理第七代用於FPD生產製程的基板

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