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ATMI、SemEquip結盟開發簇束離子植入技術

半導體製造商的材料及材料包裝供應商ATMI和SemEquip成立策略聯盟，將銷售其ClusterBoron離子植入材料。ATMI和SemEquip會針對65奈米和以下的晶片共同開發ClusterBoron材料的新傳輸系統。

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