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Mykrolis推出第三代IntelliFlow數位化資料流控制器


Mykrolis公司在近日於美國舊金山舉行的SEMICON West展覽中推出其第三代IntelliFlow數位化資料流控制器(MFC)，該產品將數種Mykrolis氣體傳送核心技術整合在一個單一的模組化單元中，可實現先進的半導體製程過程

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