Cymer推出適用於浸入式微影的準分子光源 深紫外線光源供應商Cymer公司日前推出一種準分子光源XLA 200,該產品適用於45nm製造製程的浸入式微影技術,該產品是首個此類光源,採用了帶氟化氬(ArF)光源的主振盪器功率放大器
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