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August Technology巨集缺陷檢測工具每小時可測30個晶圓

August Technology公司日前推出適於先進度量應用的最新NSX系列自動巨集缺陷(macro defect)檢測工具NSX-115，該工具最佳化了鍍金層和焊點損傷以及探頭標記檢測，據稱，此款工具能減少大量應用的檢測成本，其速度比以前1-5um缺陷檢測產品快3至5倍

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