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Nanometrics與Tokyo Electron就光測量展開合作


測量系統供應商Nanometrics宣佈將與Tokyo Electron(TEL)公司合作，提供一種用於光臨界尺寸製程控制散射測量術(scatterometry)的軟硬體產品，Nanometrics表示該公司將提供涵蓋半導體製程所有領域的解決方案

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