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微機電系統整合與性能、成本和可靠性的綜合考慮
作者:Bob Sulouff

MEMS是否整合具有爭論性，整合是實現高性能、低價格、高可靠性與高品質的唯一辦法，但其研發和生產投入較大，需要較大產量來支援，而且要解決可行的製程問題。本文分析了整合和不整合兩種觀點及其現實依據，同時展望MEMS整合的發展趨勢。

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