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Soluris的CD-SEM每小時可檢測1,000個點

Soluris公司的Yosemite SP-1000臨界尺寸掃描電子顯微鏡(critical dimension scanning electron microscope，CD-SEM)每小時可檢測多達1,000個點，同時可在高寬高比的接觸孔(contact holes)底部清晰影像

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