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NST微型陶瓷電機可自動進行真空校準


New Scale Technologies (NST)公司推出一種新型真空微型陶瓷Squiggle電機SQ-2000C，可以自動進行真空裝置的臨界校準作業，無需機械饋通或步進電機，這款新型電機適用於各種產品的奈米級定位，如半導體製造和測試、電子掃描鏡、離子束顯微鏡及掃描離子分光鏡

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