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Keithley推出第三代晶圓RF量測系統


美商吉時利儀器(Keithley Instruments)近日發表半導體參數製程控制用的第三代晶圓射頻量測系統。該系統可提供連續、自動、即時監控量測品質等功能，並具備高品質、高產能、低操作成本，以及簡易操作的特色。此外，在高效能邏輯與類比IC的生產上，吉時利的RF測試系統並已經由200mm與300mm晶圓廠認可。

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