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SUSS奈米壓印微影系統可取代傳統工具


SUSS MicroTec日前宣佈其下一代微影工具NPS300將取代傳統光學微影工具。新的奈米壓印微影系統能在步進和重複模式下將熱壓印和冷壓印集合到一個晶圓上。該公司的NPS300奈米轉印步進機是在第六框架計畫(the Sixth Framework Program)下，與VTTMicroelectronics中心一起研發的。

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