KLA-Tencor線上服務加速量測機台運作 為加速量測機台運作能力,KLA-Tencor最近推出了線上程式支援服務(Online Recipe Services),未來用戶可透過線上全球的KLA-Tencor應用程式專家獲得協助。該服務是運用KLA-Tencor的高度安全網路iSupport,可提供專家現場支援、全天候線上支援以及內建在每個KLA-Tencor機台中的電子診斷功能。
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