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訂單成長亮眼　FSI搶攻90奈米設備市場


FSI International日前宣佈，由於歐洲、亞太地區、日本和美國主要半導體廠商的需求強勁，該公司ANTARES CryoKinetic清洗設備的銷售在2005會計年度第三季再創佳績。據稱ANTARES設備過去主要用於後段製程的瑕疵去除，現在隨著愈來愈多客戶開始利用90奈米技術生產半導體元件，這套清洗設備也獲得更多廠商採用。

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