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SEZ與記憶體元件廠合作針對FEOL洗淨技術開發解決方案


半導體產業單晶圓溼式處理技術創新領導者SEZ Group和一家記憶體元件大廠達成合作研發計畫(JDP)的協議,針對量產型前段製程(FEOL)洗淨技術開發解決方案。雙方將合作開發先進的單晶圓溼式處理解決方案,據稱可大幅縮短65奈米以下製程的週期時間以提高良率、降低成本。

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