最新陀螺儀結合MEMS感應器與訊號調理電路


由歐盟委員會所支持的一個計畫日前研發出了一種陀螺儀(gyroscope)，並將其與微機電系統(MEMS)感應器和訊號調理(signal conditioning)電路相結合。該計畫小組開發一種單晶片，在其標準矽層上面增加一多晶矽鍺(poly-SiGe)層，作為微機電設備中使用科氏力(Coriolis force)來感應轉速的結構層，底層的晶片中包含的CMOS電路將訊號放大轉換成數位訊號。