| 化學氣相沉積：高密度電漿源 |
|
電容式「二極體」電漿源常見於化學氣相沉積，其反應腔製造簡單並且具備多種功能，但是也有些限制。增加射頻功率未必能增加電漿密度：尤其在低壓下增加的功率並無助於氣體離子化，只是徒然浪費在漸增的離子轟擊和熱電子產生上。電漿電位(位於電漿與腔壁間的平均電位)可以達到非常高，因而導致腔壁被濺擊和基材被污染。為了要克服這些缺點於是就有替代電漿源的問世。本文介紹三種替代電漿源：微波、感應偶合式和電子迴旋共振，其中後兩者被用來產生高密度電漿源。
請登陸網站閱讀全文>> |
| |
|
 |
| 如果您已經是電子工程專輯旗下網站的註冊用戶，請使用您原有的註冊帳號登入，無須再次註冊 |
|
|
|
|
|
|
