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KLA-Tencor針對HB-LED市場推出自動化晶圓檢測系統


KLA-Tencor公司推出一套專為高亮度發光二極體(HB-LED)市場需求所設計的自動化晶圓檢測系統Candela CS20。採用專利的多通道偵測架構，CS20可在生產能力達每小時25片晶圓的產線上，檢測透明晶圓和磊晶層(epi layer)上是否有細微針孔和其他缺陷。亞洲與北美地區目前已有多家HB-LED製造商與供應商在其生產線中採用CS20。

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