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針對300mm晶圓　NOVELLUS推出薄膜紫外熱處理系統

Novellus Systems推出SOLA，是一套針對先進介電薄膜淀積後處理的紫外熱處理(UVTP)系統。SOLA為300mm晶圓的大量產而設計，滿足下一代消費電子產品必需的新材料和製造技術需求。SOLA可實現許多先進薄膜應用，其中包括電晶體水平高應力氮化矽薄膜(HSN)和互連層致密性或多孔性低每k介電材料。

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