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[ 2008年7月6日 ]


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STS推出新一代晶圓傳輸平台

微機電系統(MEMS)製造和封裝技術供應商Surface Technology Systems (STS)，宣佈推出VPX平台；新平台可讓三個晶圓處理艙同時使用一個低成本的共同晶圓傳輸系統。STS表示，透過VPX平台，可減少發展如燃料電池與MEMS自動感應器等產品所需設備的成本，同時該平台亦可與其他先進製程模組結合，迎合客戶多樣化的商業模式與晶圓產能。

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