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KLA-Tencor新款電子光束檢測平台適用65nm製程
為了加速在65nm和45nm半導體製程節點的晶體創新，KLA-Tencor推出新一代電子光束檢測平台──eS32；該產品具有優良的細微電子與小型物理缺陷捕獲能力，能協助晶圓廠將許多新的物質與裝置架構整合至大量生產中。
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