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[ 2008年5月16日 ]


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STS宣佈獲得200萬英磅MEMS生產設備訂單

微機電系統(MEMS)製造技術解決方案供應商Surface Technology Systems (STS)宣佈，已接獲來自MEMS生產設備製造業者價值超過200萬英鎊的訂單。這些訂單包括多個Pegasus的反應製程腔體，主要用於消費性領域應用的MEMS深矽微加工技術。

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