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KLA-Tencor新一代UV/可見光明視野檢測系統問世

KLA-Tencor推出其第五代寬頻UV/可見光明視野檢測系統──2367，號稱可協助晶片製造商提升產能。KLA-Tencor表示，該款新系統以其23XX系列平台為基礎，並可提供更高的靈敏度以及加倍的資料處理速度，協助晶片製造商增加取樣頻率以及提早捕獲各關鍵層別的缺陷。

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