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Purdue大學研製出採MEMS的微泵冷卻元件
Purdue大學的工程師們日前研製出採用MEMS的微泵冷卻元件(micro-pump cooling device)，據稱該產品小到足以安置在電腦晶片上，透過蝕刻通道在晶片上以循環流動達到冷卻功能。
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