AVIZA為華亞科技提供新一代單晶原子層沈積系統


半導體設備及製程技術供應商AVIZA Technology宣佈將為台灣華亞科技(Inotera Memories)提供新一代單晶原子層沈積(ALD)系統Celsior。此一系統將用於華亞的晶圓一廠生產其90奈米和75奈米DRAM晶片。成立於2003年1月23日的華亞科技是由Infineon Technologies和南亞科技共同出資設立。華亞的生產設施採用溝槽技術，生產高密度和高性能的商用DRAM產品。