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Integrated Materials推出多晶矽爐具襯墊


Integrated Materials宣佈推出其半導體爐具加工用純多晶矽SiFusion襯墊。目前該產品正由選定客戶進行限量「測試」階段驗證。該襯墊夾具的推出使SiFusion爐具套件更加完備，該套件還包括爐具蒸發皿、注射器和基座。

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