ST新一期技術刊物披露該公司MEMS領域研究成果


先進微機電系統(MEMS)技術產品供應商意法半導體(ST)，日前發表了新一期的技術研究刊物ST Journal of Research，本期的重點為介紹ST的MEMS研究成果。該刊物的編輯們收集了9篇有關MEMS的各種問題及解決方案的技術論文。本期主要議題是︰MEMS產品的機械特性、新的MEMS製程技術、MEMS光學切換器(optical switches)、MEMS陀螺儀及射頻MEMS。