DFM應用參數的萃取－晶片導線特性可變異性研究
作者:彭政傑, 陳來福, 黃清吉, 黃俊才

隨著製程技術的演進，晶片上導線長度不斷增長、導線線寬不斷微縮，使得導線上的寄生效應日趨顯著。所以，因製程變動(process variation)而造成晶片上導線寄生效應parasitic effect)的相對應變異，其重要性隨之與日俱增。本文針對導線在晶片上寄生效應的變異性進行一連串的實驗量測驗證，以探討導線相關參數的特性變化、並進一步提供電路設計者在進行電路設計時的一個參考方向。