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新研發振動隔離技術　可提升MEMS與奈米製程工具精密度


達到「埃」等級精密度(angstrom-level accuracy)，對包括微機電系統(MEMS)測試、奈米級度量學和半導體製造工具等應用平台來說十分必要。為此有一家美國公司正在進行產品開發，可透過一種稱為「負剛度(negative stiffness)」的機構，來消除振動(vibrations)。

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