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KLA-Tencor推出Puma 9150暗視野晶圓檢測設備


KLA-Tencor推出Puma 9150暗視野圖像晶圓檢測技術，其特色包括全新的光學，能夠促進45奈米及以下製程節點生產時更廣泛的擷取良率關鍵缺陷。此外Puma 9150亦號稱能提供當今最高的暗視野生產力、降低營運成本、賦予更高的採樣速度，從而促進緊密的製程控管。

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