羅門哈斯針對進階銅障製程提供低缺陷CMP拋光墊 羅門哈斯電子材料(Rohm and Haas Electronic Materials) CMP技術部門推出專為45nm技術節點和更高節點進階銅障製程設計的EcoVision 4000低缺陷效能CMP拋光墊。EcoVision 4000拋光墊屬於羅門哈斯的VisionPad產品系列。
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