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歐洲業者合作開發奈米壓印微影技術蝕刻製程
作者: John Walko

奈米壓印(nanoimprint)微影技術壓印機(stamp)供應商NIL Technology，與Oxford Instruments合作開發針對奈米壓印微影的蝕刻製程，並已完成了三個必要步驟的開發。

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