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[ 2008年7月25日 ]

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東芝採用奈米壓印蝕刻技術開發22nm元件

奈米壓印(nano-imprint)蝕刻技術還只是一研發階段的工具，或已經成為事實？Molecular Imprints Inc.(MII)日前聲稱，其奈米壓印微影技術已通過東芝公司的認證，將用於開發22nm CMOS元件。

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