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[ 2008年7月9日 ]

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不怕灰塵搗蛋　長「翅膀」的MEMS感測器更精準

微機電系統(MEMS)技術能使探測器中的感測元件尺寸縮小，因而降低其成本、提高其精密度，並提供可媲美半導體的整合度。不幸的是，這個世界並不會因感測器尺寸縮小而縮小，較小的MEMS元件很容易被灰塵和其它微粒阻塞。

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