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[ 2008年7月25日 ]


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CyberOptics發表WaferSense晶圓設備監測系統

用於測量半導體製程與設備中關鍵參數的精確產品生產商CyberOptics Semiconductor，推出新型WaferSense自動振動系統(Auto Vibration System，AVS)，該系統旨在監測三軸的加速度與設備振動情況，以實現設備運動與晶圓產出的最大化。

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