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ASMI與Hitachi簽署原子層沉積技術授權協定
ASM International (ASMI)與日立國際電氣(Hitachi Kokusai Electric)共同宣佈，雙方已簽署一項授權協議。根據此項協議，ASMI將把原子層沉積技術專利在批次式原子層沉積領域的使用權授予日立國際電氣。
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