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[ 2008年7月25日 ]


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KLA-Tencor新薄膜量測機台適用於45nm及以下製程

KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜量測機台，此系列由Aleris 8500開始，同時結合多層薄膜厚度與成分量測的專業量產型機台。其他的Aleris系列機台將在未來幾個月內以不同配備組合推出，以滿足45奈米node或更小尺寸製程中，對於薄膜量測的性能與量產成本控制的要求。

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