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[ 2008年7月25日 ]


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新研發壓阻式MEMS諧振器工作頻率可達1.1GHz

NXP的研究人員最近發表了一款採用矽材料的壓阻式(piezoresistive) MEMS諧振器(resonator)，號稱可工作在1.1GHz下。該小組設計出了利用靜電(electrostatic)激發矽諧振器的一種新式能量轉換(transduction)架構，可利用矽的壓阻效應來探測機械運動。

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