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[ 2008年7月19日 ]


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羅門哈斯VisionPad 5000研磨墊適用65nm製程

羅門哈斯(ROHM AND HASS)電子材料CMP技術事業部，宣佈其VisionPad平台家族又增添一款新品──VisionPad 5000 CMP研磨墊。這款研磨墊適用於65nm以下記憶體及邏輯晶片的量產，能大幅降低淺溝槽隔離製程(STI)及層間絕緣(ILD)應用的缺陷率。

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