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[ 2008年7月7日 ]

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諾發系統推出乾式光阻去除系統G400與洗淨系統GxT

諾發系統(Novellus Systems)針對全球的晶圓廠和晶圓代工廠不同的光阻去除需求，推出兩款乾式光阻去除與洗淨系統。G400和GxT是以諾發系統的GAMMA平台為基礎而建立的，能解決快閃記憶體、DRAM和邏輯元件產品對於高吞吐量和低瑕疵率的要求。

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