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FSI用於先進IC生產的清洗技術有效提升良率


全球IC製造晶圓清洗系統廠商FSI International宣佈，在5月底於以色列、義大利、法國與德國舉行的Knowledge Services Seminar(KSS)系列研討會上，多份客戶發表的報告認為FSI的清洗技術有助於提升生產製造良率。

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