曲線來了!IC 製造為曲線光罩做準備

時間2022-11-14

分類 Whitepaper

資料簡介

製造積體電路時,我們過去總是製作具有曼哈頓 (垂直、水平) 和 45 度邊的光罩。例如,即使實際印在晶圓上的形狀是圓的,接觸孔仍設計成方的。事實證明,要印出這種圓形,適當的光罩圖案實際上應當是圓形,即最終的製程視窗最大化曲線光罩形狀。現今多電子束光罩刻寫機使得光罩刻寫曲線圖形成為可能,處理曲線資料的 EDA工具也上線了。

本白皮書將探討曲線 (CL) 光罩的優點,以及包括反向微影技術在內的電子設計自動
化 (EDA) 工具,如何實現這個新一代的 IC 製造方式。

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曲線來了!IC 製造為曲線光罩做準備

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