荷蘭半導體微影設備大廠艾司摩爾(ASML),與專長電子束晶圓檢測設備的台灣半導體設備業者漢民微測科技(Hermes Microvision,以下簡稱漢微科)共同宣布,雙方已簽署正式股份轉換契約,ASML將以現金收購漢微科全部流通在外股份,總交易金額約為1,000億新台幣(以當前匯率折算約27.5億歐元)。

兩家公司表示,ASML和漢微科均在其各自領域居於龍頭地位,且已共同合作開發能為半導體製造商提升最先進製程生產良率的解決方案;本次交易不僅可使兩間公司做進一步的技術整合,更能豐富產品組合、加速產品開發速度。ASML及漢微科董事會已過此股份轉換案,ASML將以現金支付漢微科普通股股東每股新台幣1,410元之股份轉換對價;此對價相較於漢微科的前30交易日成交量加權平均價(VWAP),有31%的溢價。

ASML在收購案聲明中指出,對於半導體製造商而言,10奈米以下及3D立體結構製程的製程技術及良率控制愈加困難;兩家公司合併後預計推出的整合技術,將能提供半導體製造商先進的製程控制解決方案,來克服上述挑戰,這需要高密度、高解析度的量測技術,以測量及控制半導體元件的效能;而立體半導體製程則需要高密度、高電壓反差的量測以控制立體結構產品性能。

漢微科是為世界各大晶圓代工廠與晶圓記憶體廠提供電子束檢測設備的廠商,多年來專注於高解析度及電壓反差成像電子束產品及應用之開發,於電子束應用領域居於領先之位。漢微科未來不僅將繼續突破創新技術,其核心技術亦將增強ASML的全方位微影技術解決方案(包括微影曝光系統、運算微影及量測);透過此三項關鍵技術解決方案,ASML可提供結合擴大製程容許範圍、控制及檢測等應用的產品。

漢微科的電子束量測技術可針對2D及3D圖案進行清楚的成像,ASML可藉此成像強化其設計及製程模擬模型,此項應用為運算微影之基石。經過詳細運算後,該模型可以引導光學及電子束量測機台到晶圓上最複雜、對於良率控制最為關鍵的圖案,以最具成本效益方式量測並掌握晶圓圖像的特性。最終,晶圓成像資訊與ASML的模型結合,可將ASML的曝光機調整至最適狀態。因此,收購漢微科與ASML發展全方位微影技術的策略一致。

此外,漢微科於電子束檢測極紫外光(EUV,或譯“深紫外光”)應用於辨識光罩缺陷具有領導地位;此技術將能支援ASML的EUV微影系統平台效能之提升,而該平台將用於2018年開始量產的下一代半導體製程。

漢微科執行長招允佳表示:「本股份轉換案會加速兩間公司的技術發展進程,因此對於我們的客戶、員工、供應商和投資人來說,都是好消息。目前我們在台灣的兩處據點共擁有 約350名員工,未來我們計劃在台灣繼續投資並擴大漢微科的業務。半導體產業向10奈米以下製程的推進及高階記憶體的製造,皆需技術創新,現在我們可以透過提供漢微科及ASML的整合技術,使客戶取得致勝關鍵。」

本股份轉換案預計將於2016年第四季完成;本交易應以達成符合慣例之交割條件(包括台灣、美國及其他國家主管機關的核准)為前提。交易亦須經過漢微科股東會同意。漢民科技集團及其他漢微科的大股東和漢微科的經營團隊目前共持有漢微科約48%的股份,並已承諾將於股東會上支持本交易案。

作為交易的一部 分,漢民科技集團及漢微科經營團隊的部分成員亦同意以出售漢微科股份所得之部分現金,認購ASML發行之新股,顯示他們對此策略性的結合充滿信心。為此,ASML將增發590萬股(佔ASML已發行股份總數約1%),發行價格依市價計算為每股3,106元新台幣(約每股85歐元,總金額約5億歐元),該等股份於股份轉換基準日起30個月內,未經ASML書面許可不得轉讓,或為其他認股契約中限制之處分行為。

ASML預計透過約15億歐元之銀行融資,以及約5億歐元之上述向漢民科技集團及漢微科經營團隊的部分成員新發股份,及ASML之自有現金以支付本交易案對價。排除非現金收購價之會計調整,本項收購案預期將為ASML交易完成後的每股淨利帶來挹注。