是德科技(Keysight Technologies)日前宣佈推出第三代的Keysight P9000系列大規模並聯參數測設系統。該系統可加速推動新技術的發展,並且降低先進半導體邏輯和記憶體IC的研發和製造成本。舉例而言,新型元件結構和更高的效能,讓每個先進技術節點(小於或等於20 nm)所需的參數測試資料急遽增加。

Keysight P9000可使用專用的接腳測試單元模組,在矽晶圓上進行100-pin多元件並聯測試。該模組具有參數測試所需的所有基本量測功能,例如電壓、電流、電容、脈衝和頻率。此外,直接電荷量測(DCM)技術使得高速100-pin並聯電容量測變得可能。

第二代P9000包含是德科技研發的快速Vt量測技術,可提供單次臨界電壓(Vt)量測,因此量測速度比任何傳統測試方法快了四倍以上。除了100-pin並聯量測外,DCM和高速Vt量測技術所提供的更快速單一參數量測,進一步增進了測試速度。因此,先進晶圓代工廠和記憶體製造商紛紛採用第一代和第二代P9000平台作為他們的下一代參數測試解決方案。

隨著第三代P9000的問世,加上Keysight P9015A接腳參數測試模組的輔助,該測試儀進一步縮短了電容量測時間,並解決因多層互連和新元件架構導致電容測試量增加的問題。新模組使用增強的DCM技術,可量測洩漏電容,將單一電容量測速度大幅提升了兩倍以上。相較於傳統的LCR量測儀器,它與各種類型的電容都有很好的資料相容性。此外,100-pin並聯電容量測也讓客戶得以顯著提高量測速率量。