由於半導體多道製程中,包括晶圓生產-黃光蝕刻、薄膜等製程中,或是其他太陽能、LED晶片等電子產品的製造過程中,都有機會因使用到液體/揮發性材料造成缺陷的問題,宜特宣佈推出液態材料缺陷檢測服務,將有助於相關業者分析液態材質缺陷。

宜特表示,針對一般樣品,宜特會使用掃描式電子顯微鏡SEM (Scanning Electron Microscope)進行樣品表面形貌的檢測。然而樣品必須於真空系統下作業,並且樣品侷限在固體。而對於液態/揮發性材料,由於此類樣品會影響電子顯微鏡的真空度,並可能造成腔體污染,因此以往若要使用SEM進行檢測會相當困難。

宜特進一步指出,一般而言的變通作法,會將液態/揮發性材料烘烤後,變成固態,再將固態樣品利用SEM進行檢測,然而,往往經過烘烤後的樣品形貌均已失真,例如液態材料內之粒子(Particle)分佈與分散性,這些特性於材料經烘烤後均已改變,便無法觀察到液態材料之真實樣貌。為此宜特引進了液態材料專用之SEM載台,將可解決此議題。

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宜特說明,SEM液態載台是封閉式結構,可以將液態/揮發性材料封閉其中,故可避免影響SEM的真空度與真空系統污染等問題。SEM電子顯微鏡透過載台表面厚度僅數十奈米之氮化矽SiN薄膜,仍可以激發出液態樣品表面之二次電子或背向電子,藉此可以順利成像。

此外,若搭配另一工具-EDS(Energy Dispersive Spectroscopy),即可進行成份分析,除此之外,SEM影像可透過專用軟體進行分析,即可得到尺寸分佈、分散性、形狀分佈等數據資料,以作為材料研發或製程改善、監控的依據。