原子層蝕刻

2021-11-17 - Yang Pan、Samantha Tan與Richard Wise,Lam Research

以新一代製程設備推進記憶體技術藍圖

2021-03-15 - Rich Wise,科林研發(Lam Research) Patterning Managing Director

利用原子層蝕刻技術克服EUV隨機變異